氧化锆氧分析仪被测气体(烟气)通过传感器进入氧化锆管的内侧，参比气体(空气)通过自然对流进入传感器的外侧，当锆管内外侧的氧浓度不同时，在氧化锆管内外侧产生氧浓差电势(在参比气体确定情况下，氧化锆输出的氧浓差电势与传感器的工作温度和被测气体浓度呈函数对应关系)该氧浓差电势经显示仪表转化成与被测烟气含氧量呈线性关系的标准信号，供RHO仪表显示和输出。
氧化锆氧分析仪的常见故障以及解决办法
1系统检修
氧量变送器若出现氧量指示为零或无氧量信号，这时应首先检查氧量信号线路是否断开，若线路正常，则应检查锆头是否正常。在750℃测探头内阻，若内阻大于1KΩ，证明探头已老化，需更换锆元件或探头，若内阻小于800Ω，证明接线开路，逐一检查处理。
2恒温系统故障
1 )若出现池温上不去,则应检查加热炉内阻丝是短路还是断路.正常的加热炉丝电阻约为140Ω,若用万用表测得电阻丝开路或阻值小于80Ω,则应更换加热炉丝。
2) 当出现池温过高及温度失控时，这不仅使氧量显示不准，而且会加速锆头老化或锆头烧坏，这时应立即检查热偶是否断路或连线是否开路，方法是用万用表检查热偶，电阻若大于20Ω，则判断为热电偶断路，需更换热电偶及锆头；温度失控的另一个原因是：继电器或温控电路故障，因为继电器、温度电路故障会使氧量变送器始终给加热炉一加热电压，从而造成温度升高。
3锆元件故障
1) 使用一段时间的探头，锆元件引线的转接处可能由于氧化而接触不良或松动，这是会使Em值(用万用表量)时大时小，时好时坏，处于不稳定状态，观察锆元件后做相应处理。
2) 当出现氧量信号偏差太大或不准确时，则有可能是氧化锆电极短路，这时应检查氧化锆电池连线是否短接。在未升温时，内阻若小于50Ω，证明电极短路，须更换锆头。
3)若在运行过程中，出现本底电势大于10mV或小于-30mV，则须对氧量测量装置用标气重新标定，标定完后若本底电势仍然异常，则说明探头已老化，不能再使用了。
4气路方面的故障
1)氧化锆锆头堵灰，造成参比气不流通，其结果会使探头的输出电势Em变小，本底电势Eo变大，这时用洗耳球对准探头的空气入口处吹若干次，解决导气管堵塞之后，上述现象即可解决。
2)锆元件堵灰：应取出探头消除灰堵，重装过滤器。
3)探头漏气对探头影响极大。
5甲乙侧氧量偏差大
在调整锅炉燃烧工况，启停锅炉风机或磨组时，若出现两侧氧量偏差大，属正常现象，待锅炉燃烧工况稳定后，氧量指示会恢复正常。若机组无任何调整出现两侧偏差大就需要检查锆头工作是否正常，将变送器拆会进行校验检查。设备都正常要求运行人员对气体流量进行调整。气体和参比气体都应不断的流过电极，不停止也*。但流量过大会起冷却作用，使电池温度不均，造成误差。过小的流量除易形成气流停滞和死区外，还可能因氧离子的传导而改变局部区域的氧浓度，从而影响准确测量，使两侧形成偏差。
6现场干扰引起故障：
由于电磁场较强，对新安装仪表的不稳定故障，应首先考虑干扰的可能性。
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